| K -News vom 17.04.2002 |
Kalrez® Perfluorelastomer-O-Ringe der neuen NW-Serie
| Passgenaue Dichtungen für Kleinflanschverbindungen nach ISO
Speziell für Kleinflanschverbindungen (KF-Verbindungen) mit metrischen Dimensionen nach ISO hat DuPont Dow Elastomers jetzt die O-Ringe der neuen NW-Serie auf den Markt gebracht. Die neuen O-Ringe sind Kalrez® Perfluorelastomerteile, deren Dimensionen den ISO-Normen entsprechen, d. h. die Dichtungen haben eine geringere Schnurstärke als die industrieüblichen O-Ringe nach AS568A. Besonders bei der Halbleiter-Wafer-Herstellung, wo Perfluorelastomerdichtungen für den Einsatz bei Temperaturen bis 300 °C spezifiziert werden, profitieren die Hersteller von der geringeren Schnurstärke: Die O-Ringe der NW-Serie dehnen sich bei hohen Temperaturen nicht so stark aus wie Standardtypen. Dadurch sind sie geringeren Belastungen ausgesetzt, halten länger und helfen, Ausfallzeiten von Halbleiter-Produktionsanlagen zu minimieren. KF-Verbindungen sind ein wirtschaftliches, komfortables und einfaches Mittel für den Aufbau von Vakuumsystemen für Halbleiteranwendungen. Wurden jedoch Perfluorelastomer-O-Ringe in den industrieüblichen Standardgrößen für den Einsatz in KF-Dichtungen unter hohen Temperaturen spezifiziert, können diese vorzeitig versagen und unplanmäßige Ausfallzeiten der Anlage verursachen. Um dies zu verhindern, mussten Halbleiterhersteller bislang auf kostenintensive kundenspezifische Dichtungen zurückgreifen. "Die Kalrez® Perfluorelastomer-O-Ringe der neuen NW-Serie bieten Halbleiterherstellern zuverlässige Dichtungen mit adäquaten Abmessungen zum Preis von Standard-O-Ringen", so M. Chida, Semiconductor Marketing Manager für Kalrez®. Die O-Ringe der NW-Serie sind in den gängigen Größen erhältlich. Darüber hinaus kann der Anwender aus einer Vielzahl von Compounds auswählen, die den aggressiven Chemikalien in CVD- und Ätzverfahren widerstehen. 
Die O-Ringe der neuen NW-Serie von DuPont Dow Elastomers mit ihren den ISO-Normen entsprechenden Dimensionen eignen sich besonders für den Einsatz in Kleinflanschverbindungen unter hohen Temperaturen, wie sie bei der Halbleiterfertigung auftreten. Im Vergleich zu industrieüblichen O-Ringen haben sie eine geringere Schnurstärke und dehnen sich daher bei hohen Temperaturen nicht so stark aus. Text + Bild: DuPont Dow Elastomers |
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